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激光干涉仪资料
德赢体育平台1.可用于平面光学零件表面面型精度、局部误差、平行度、楔角、透过波前像差的测量;
德赢体育平台2.非接触式测量,不会损伤被测零件;
3.高精度,精度可达0.03μm;
4.小型化,结构紧凑,操作调节方便;
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测量方式
菲索干涉原理
对准方式
两光路切换 两点法校准
最大测试口径
25mm
激光
LD激光器,波长635nm
平面标准镜精度
PV≤λ/20
相机分辨率
1280x1024
电源
AC 220V 50Hz
外形尺寸
290mm(L) x365mm(W)x210mm(H)
显示方式
独立显示器或计算机
数据分析
可配干涉条纹分析软件实现数字化测量